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| 加熱式電容膜片真空計EdgeTM CDG100D2 |
| 點(diǎn)擊次數：184 更新時(shí)間：2024-11-19 |
加熱式電容膜片真空計EdgeTM CDG100D2
INFICON Edge電容膜片真空計是專(zhuān)為惡劣制造環(huán)境設計 的高精度真空測量?jì)x器。成熟的控溫、防腐蝕、超純陶瓷 傳感器能長(cháng)期提供出眾的量程穩定性，而且具有 的霧位穩定性。Edge 隨附INFICON 已獲傳感 器屏蔽，用于保護真空計，使其免受不需要的過(guò)程副產(chǎn)品 的影響。先進(jìn)的電子元件能為所有應用提供范圍廣泛的可 配置信號調節，另外還有EtherCAT 現場(chǎng)總線(xiàn)接口可供選 擇。創(chuàng )新的加熱概念能夠使接觸表面保持低溫，并節約寶 貴的工具空間。INFICON Edge是同類(lèi)產(chǎn)品中最小的真空 測量?jì)x器。 優(yōu)勢 ·緊湊型，節省寶貴的工具空間 ·易于集成， EtherCAT, 各種滿(mǎn)刻度和法蘭，標配兩個(gè) 設定點(diǎn) ·輕松一鍵調零或遠程信號調零指令，可調零點(diǎn)偏移 ·診斷端口用于快速維修和維護 ·兩年保修服務(wù)，先進(jìn)的加熱概念和真空計保護延長(cháng)了使 用壽命 ·信號穩定性和可重復性，即使是最嚴苛的等離子 應用，都無(wú)需長(cháng)期執行重新校準 ·合規和標準： CE、EN、UL、SEMI、RoHS 應用范圍 ·CVD、 蝕刻、PVD 及其他半導體生產(chǎn)過(guò)程
EdgeTM CDG100D2 訂購資料
1) 優(yōu)化的壓力控制信號濾波器設置 2) 不能使用現場(chǎng)總線(xiàn)接口 粗體=標準產(chǎn)品 其他法蘭類(lèi)型可按要求提供。
EdgeTM CDG100D2
1) 在25°℃環(huán)境運行溫度下表現為非線(xiàn)性、滯后、再現性，運行兩小時(shí)后無(wú)溫度效應 2) 環(huán)境溫度>40°℃,可能會(huì )使表面溫度高于SEMI S2合規水平—標記“小心燙傷!" 3) 增加10.…90% FS 4) 18%Cr、10%Ni、3%Mo、69%Fe
EdgeTM CDG100D2
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